Study on the impact of corner rounding and line-end shortening on charging effects in plasma etching

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标题	Study on the impact of corner rounding and line-end shortening on charging effects in plasma etching
网址	http://dx.doi.org/10.1116/5.0273524
DOI	10.1116/5.0273524 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B 作者：Peng Zhang; Huihui Chen; Jiaqi Sha; Mengyuan Tang 出版日期：2025-08-27
求助人	甜甜钢铁侠在 2026-11-03 15:35:27 发布自安徽，悬赏 10 积分
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