发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Fully dense, highly conductive nanocrystalline TiN diffusion barrier on steel via reactive high power impulse magnetron sputtering
通过反应性高功率脉冲磁溅镀在钢上实现完全致密、高导电的纳米晶体Ti扩散屏障
相关领域
高功率脉冲磁控溅射 锡 材料科学 纳米晶材料 扩散阻挡层 溅射 溅射沉积 电阻率和电导率 分析化学（期刊） 薄膜 冶金 复合材料 纳米技术 化学 图层（电子） 电气工程 工程类 色谱法
网址
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2021.138578
DOI
10.1016/j.tsf.2021.138578 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：Pankaj Kumar; Seema Seema; Mukul Gupta; Sushobhan Avasthi
出版日期：2021-02-15
求助人
栗子 在 2025-07-16 21:02:14 发布，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Deposition of TiN and TaN by Remote Plasma ALD for Cu and Li Diffusion Barrier Applications
  2. Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Ru–TiN Thin Films for Copper Diffusion Barrier Metals
  3. Improved TiN film as a diffusion barrier between copper and silicon
  4. Diffusion barrier performance of chemically vapor deposited TiN films prepared using tetrakis-dimeth...
  5. Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing uni...
  6. Impact of self-sputtering in high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) with helium
  7. DEPOSITION OF NIOBIUM AND OTHER SUPERCONDUCTING MATERIALS WITH HIGH POWER IMPULSE MAGNETRON SPUTTERI...
  8. Nb-doped TiO2 coatings developed by high power impulse magnetron sputtering-chemical vapor depositio...
  9. A Study of TiN/Zr(N)/TiN Multilayer Films as a Diffusion Barrier between Cu and Si
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 5小时前

    斯文败类 斯文败类 Lv11 上传了文件

    待审核 kumar2021.pdf (3.61 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 12小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    21:02:19 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    21:02:15 科研通AI机器人（中国 香港）收到请求，开始寻找文献
    21:02:14 已向机器人发送请求

  • 12小时前

    栗子 栗子 Lv4 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
失眠采白发布了新的文献求助10
刚刚
隐形曼青的应助被wys采纳，获得10
刚刚
刚刚
成1发布了新的文献求助10
刚刚
popcorn完成签到 ，获得积分10
1秒前
nazi发布了新的文献求助10
1秒前
情怀的应助被机灵的十八采纳，获得10
1秒前
myjf发布了新的文献求助10
1秒前
qiuling完成签到，获得积分10
2秒前
cccui完成签到，获得积分10
2秒前
3秒前
等一个晴天完成签到，获得积分10
4秒前
干净的翠琴完成签到 ，获得积分10
4秒前
4秒前
4秒前
5秒前
5秒前
5秒前
成1完成签到，获得积分10
5秒前
meimale发布了新的文献求助10
5秒前
英俊的铭的应助被微笑的语芙采纳，获得10
6秒前
彩色蘑菇完成签到，获得积分10
6秒前
6秒前
pariscxl完成签到，获得积分10
6秒前
悲伤西米露完成签到，获得积分10
6秒前
酷波er的应助被鲍建芳采纳，获得10
7秒前
123完成签到，获得积分20
7秒前
7秒前
含蓄的飞绿完成签到，获得积分20
7秒前
8秒前
一木张发布了新的文献求助10
8秒前
zhangsudi完成签到，获得积分10
8秒前
太阳完成签到，获得积分10
9秒前
芈冖完成签到，获得积分10
9秒前
傅宛白发布了新的文献求助10
9秒前
zz0429完成签到 ，获得积分10
10秒前
10秒前
善良断缘完成签到 ，获得积分10
10秒前
躺平girl发布了新的文献求助10
10秒前
高分求助中
【提示信息，请勿应助】关于scihub 10000
Les Mantodea de Guyane: Insecta, Polyneoptera [The Mantids of French Guiana] 3000
The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
徐淮辽南地区新元古代叠层石及生物地层 500
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 400
北师大毕业论文 基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 390
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4022551
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3562719
关于积分的说明 11339620
捐赠科研通 3294479
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1814640
邀请新用户注册赠送积分活动 889338
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 812889
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通