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 Effect of pH in Ru Slurry with Sodium Periodate on Ru CMP 高碘酸钠钌浆料pH值对钌CMP的影响
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期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：In‐Kwon Kim; Byoung-Gwun Cho; Jin-Goo Park; Jum-Yong Park; Hyung Soon Park 出版日期：2009-01-01 |
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