| 标题 |
 Chemical Mechanical Polishing of TiN Film with Potassium Permanganate and L-Aspartic Acid in Alkaline Slurry 碱性浆料中高锰酸钾和L-天冬氨酸化学机械抛光锡膜
相关领域
锡
高锰酸钾
材料科学
泥浆
扫描电子显微镜
氮化钛
X射线光电子能谱
化学机械平面化
抛光
热稳定性
高锰酸盐
化学工程
冶金
无机化学
复合材料
氮化物
化学
图层（电子）
工程类
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Chengxing Li; Daolin Cai; Daohuan Feng; Zi-Jing Cui; Weili Liu; et al 出版日期：2021-07-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
herococa
coolkid
CR7
彭于彦祖
鸣笛
ceeray23
SYLH
爱静静
怕黑以山
916
猪猪hero
8R60d8
从容芮
iNk
风清扬
典雅的俊驰
孙燕
yydragen
愉快的真
大脑袋
皖公网安备34019202002308
