Deep and Vertical Polyimide Etching

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标题	Deep and Vertical Polyimide Etching 深度垂直聚酰亚胺蚀刻相关领域聚酰亚胺蚀刻（微加工）材料科学微电子机械系统光电子学碳化沉积（地质）过程（计算）复合材料计算机科学图层（电子）扫描电子显微镜沉积物生物操作系统古生物学
网址	https://doi.org/10.1109/cstic52283.2021.9461562
DOI	10.1109/cstic52283.2021.9461562 doi
其它	期刊：作者：Yuwei Kong; Yuanwei Lin; Zihan Dong 出版日期：2021-03-14
求助人	yukkii 在 2025-05-24 13:39:58 发布自湖北，悬赏 10 积分
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