Sheath potential difference studies in low-pressure high-frequency capacitive RF plasma as a fundamental research for ion energy impinging on the material surface

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标题	Sheath potential difference studies in low-pressure high-frequency capacitive RF plasma as a fundamental research for ion energy impinging on the material surface
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S025789720...
DOI	10.1016/j.surfcoat.2005.08.001 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Zhi-Gang Li; YuCheng Ding 出版日期：2005-09-15
求助人	王志鹏在 2026-10-20 19:40:02 发布自江西，悬赏 10 积分
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