In situ formation of inhibitor species through catalytic surface reactions during area-selective atomic layer deposition of TaN - 科研通

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标题	In situ formation of inhibitor species through catalytic surface reactions during area-selective atomic layer deposition of TaN
网址	https://pubs.aip.org/aip/jcp/article-pdf/doi/10.1063/5.02074...
DOI	10.1063/5.0207496 doi
其它	期刊：Journal of Chemical Physics 作者：M. Merkx; I. Tezsevin; Pengmei Yu; Thijs Janssen; Rik H G M Heinemans; et al 出版日期：2024-05-22
求助人	Mr_龙在天涯在 2026-09-29 19:43:57 发布自上海，悬赏 10 积分
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