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 Atomic Structure and Optical Properties of Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposited SiCOH Low-k Dielectric Film 等离子体增强化学气相沉积SiCOH低介电常数薄膜的原子结构和光学性质
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期刊：Optics and Spectroscopy 作者：В. Н. Кручинин; В. А. Володин; С. В. Рыхлицкий; V. A. Gritsenko; I. P. Posvirin; et al 出版日期：2021-06-01 |
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