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 Indium-free GZO thin films prepared using plasma-enhanced atomic layer deposition: toward thin film transistor application 等离子体增强原子层沉积制备无铟GZO薄膜及其在薄膜晶体管中的应用
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材料科学
铟
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期刊：Journal of Materials Chemistry C 作者：Chun-Yan Shi; Qi-Zhen Chen; Zhi-Xuan Zhang; Chia‐Hsun Hsu; Ming-Jie Zhao; et al 出版日期：2022-01-01 |
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