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Electron collision cross section data in plasma etching modeling
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网址
https://doi.org/10.7498/aps.73.20231598
DOI
10.7498/aps.73.20231598 doi
其它 期刊：Acta Physica Sinica
作者：Jinfeng Chen; Lin‐Fan Zhu
出版日期：2024-01-01
求助人
Grace 在 2026-01-04 21:20:28 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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