已关闭
  • 文献求助详情
标题
Mask and illumination optimization for low-k1 EUV lithography
相关领域
极紫外光刻 材料科学 平版印刷术 抵抗 光学 光电子学 蜂巢 二进制数 纳米技术 物理 复合材料 数学 算术 图层(电子)
网址
DOI
10.1117/12.2651194 doi
其它 期刊:
作者:Dong-Seok Nam; Jung-Hoon Ser; Nakgeuon Seong; Xiaoyang Li; Stephen Hsu; et al
出版日期:2022-09-16
求助人
jun 在 2026-01-05 16:28:42 发布自安徽,悬赏 20 积分
下载
 
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
求助 / 应助时间线
  • 7个月前,求助关闭

    jun jun Lv7 求助人 关闭了本次求助。

    说明 不需要了【积分已退回】
  • 7个月前

    jun jun Lv7 求助人 发起了本次求助

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
Atlantis完成签到,获得积分10
刚刚
碧蓝的往事完成签到 ,获得积分10
刚刚
刚刚
刚刚
温婉的荷花完成签到,获得积分10
1秒前
脑洞疼应助000采纳,获得10
1秒前
疯狂的水香完成签到,获得积分10
1秒前
烂漫凡桃完成签到 ,获得积分10
2秒前
领导范儿应助小鹿采纳,获得10
2秒前
平淡初雪完成签到,获得积分0
2秒前
YX发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
pericles发布了新的文献求助10
3秒前
贱小贱完成签到,获得积分0
4秒前
4秒前
4秒前
morning发布了新的文献求助10
5秒前
m78完成签到 ,获得积分10
6秒前
绿豆冰完成签到,获得积分10
7秒前
sweety0721发布了新的文献求助10
7秒前
YY-Bubble发布了新的文献求助10
7秒前
7秒前
9秒前
瀚子完成签到,获得积分10
10秒前
Orange应助孝顺的梦玉采纳,获得10
10秒前
Zhang发布了新的文献求助10
12秒前
千秋完成签到,获得积分20
12秒前
TomYU发布了新的文献求助10
12秒前
烂漫凡桃发布了新的文献求助10
13秒前
YY-Bubble完成签到,获得积分10
14秒前
xingzi123发布了新的文献求助30
15秒前
锅嘚硬完成签到,获得积分10
15秒前
了尘完成签到,获得积分10
16秒前
JIECHENG完成签到 ,获得积分10
16秒前
慕青应助Zhang采纳,获得10
17秒前
隐形曼青应助幸川采纳,获得10
18秒前
随便叫点啥完成签到,获得积分10
18秒前
19秒前
黄健丰完成签到,获得积分10
20秒前
22秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510
Handbuch Trainingswissenschaft – Trainingslehre 500
Additive Manufacturing Design and Applications (ASM Handbook, Volume 24A) 500
Variations: A More Diverse Picture of Contemporary Art 400
A Primer on Partial Least Squares Structural Equation Modeling (PLS-SEM) Fourth Edition 400
Induction Heating and Heat Treatment (ASM Handbook, Volume 4C) 300
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7586749
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9165076
关于积分的说明 19614483
捐赠科研通 7167188
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3266728
关于科研通互助平台的介绍 2431714
邀请新用户注册赠送积分活动 2258547