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Mask and illumination optimization for low-k1 EUV lithography
相关领域
极紫外光刻 材料科学 平版印刷术 抵抗 光学 光电子学 蜂巢 二进制数 纳米技术 物理 复合材料 数学 算术 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/12.2651194
DOI
10.1117/12.2651194 doi
其它 期刊：
作者：Dong-Seok Nam; Jung-Hoon Ser; Nakgeuon Seong; Xiaoyang Li; Stephen Hsu; et al
出版日期：2022-09-16
求助人
jun 在 2026-01-05 16:28:42 发布自安徽，悬赏 20 积分
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  • 2个月前

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