Role of in-situ SiNx in ohmic contact realization in AlN/GaN HEMTs - 科研通

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标题	Role of in-situ SiNx in ohmic contact realization in AlN/GaN HEMTs
网址	https://doi.org/10.1007/s10854-025-15443-1
DOI	10.1007/s10854-025-15443-1 doi
其它	期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics 作者： Chanchal; Niraj Kumar; Amit; Robert Laishram; Sonalee Kapoor; et al 出版日期：2025
求助人	科研麻瓜在 2026-03-06 11:33:12 发布自湖北，悬赏 10 积分
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