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 Tailoring Functional Properties of Ti–Ni–Cu Shape Memory Alloy Thin Films for MEMS Actuators 相关领域
材料科学
残余应力
薄膜
形状记忆合金
溅射沉积
复合材料
极限抗拉强度
微电子机械系统
制作
溅射
透射电子显微镜
合金
光电子学
聚焦离子束
微观结构
抗压强度
压力（语言学）
沉积（地质）
高分辨率透射电子显微镜
基质（水族馆）
毯子
腔磁控管
扫描电子显微镜
同质性（统计学）
拉伸试验
奥氏体
物理气相沉积
蚀刻（微加工）
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期刊：Advanced Engineering Materials 作者：E. Akbarnejad; Aleksander Kostka; Gowtham Arivanandhan; Yujiao Li; Alan Savan; et al 出版日期：2026-03-31 |
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