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 Piezocatalysis for Chemical–Mechanical Polishing of SiC: Dual Roles of t‐BaTiO3 as a Piezocatalyst and an Abrasive 相关领域
化学机械平面化
材料科学
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期刊：Small 作者：Tao Hu; Jinxi Feng; Wen Yan; Shuanghong Tian; Jingxiang Sun; et al 出版日期：2023-12-28 |
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