Copper voids improvement for the copper dual damascene interconnection process - 科研通

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标题	Copper voids improvement for the copper dual damascene interconnection process
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S002236970...
DOI	10.1016/j.jpcs.2007.07.119 doi
其它	期刊：Journal of Physics and Chemistry of Solids 作者：T.C. Wang; Y.L. Wang; T.E. Hsieh; S.C. Chang; Y.L. Cheng 出版日期：2007-08-09
求助人	1234 在 2026-09-16 14:47:26 发布自北京，悬赏 10 积分
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