Numerical investigation of discharge evolution and breakdown characteristics of ArF excimer lasers

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标题	Numerical investigation of discharge evolution and breakdown characteristics of ArF excimer lasers
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6595/ad5df6
DOI	10.1088/1361-6595/ad5df6 doi
其它	期刊：International Conference on Plasma Science 作者：Xiaochi Ma; L. Bai; Yifei Zhu; X. Jiang; Yun Wu 出版日期：2024-06-16
求助人	苹果冰梅在 2026-07-28 10:45:24 发布自广东，悬赏 10 积分
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