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标题
Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography
网址
https://www.osapublishing.org/viewmedia.cfm?URI=jot-83-3-154...
DOI
10.1364/jot.83.000154 doi
其它 期刊：Journal of Optical Technology
作者：Ming Chen; Fang Zhang; Ai-Jun Zeng; Jing Zhu; Bao-Xi Yang; et al
出版日期：2016-03-01
求助人
ghpi 在 2026-09-14 19:59:00 发布自四川，悬赏 10 积分
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  • 7小时前

    脑洞疼 脑洞疼 Lv11 上传了文件

    待审核 20260914195906-7afdf981-109.pdf (647.82 KB)
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  • 7小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    19:59:03 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    19:59:00 科研通AI机器人（美国 洛杉矶）收到请求，开始寻找文献
    19:59:00 已向机器人发送请求

  • 7小时前

    ghpi ghpi Lv4 求助人 发起了本次求助

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