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标题
Investigation of Polarity Reversal of Bilayer AlN/Sc0.2Al0.8N Films and Its Influence on Film Bulk Acoustic Resonators
双层AlN/Sc0.2Al0.8N薄膜极性反转及其对薄膜体声谐振器影响的研究
网址
https://doi.org/10.1002/smtd.202500147
DOI
10.1002/smtd.202500147 doi
其它 期刊：Small Methods
作者：Yupeng Zheng; Tingting Yang; Binghui Lin; Xiaoming Huang; Qinwen Xu; et al
出版日期：2025
求助人
Ace 在 2025-06-23 16:26:55 发布自福建，悬赏 10 积分
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