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 Temperature-dependent impurity control and electronic structure optimization in ALD-deposited Al2O3 films for enhanced functional applications 相关领域
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期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Bingbing Xia; Emrick Briand; S Steydli; Jean‐Jacques Ganem; A. Baron-Wiecheć; et al 出版日期：2025-10-01 |
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