已完结
  • 文献求助详情
标题
Nitrogen Doped High Selectivity Amorphous Carbon Film for High Aspect Ratio Etch Process
网址
DOI
10.1016/j.tsf.2024.140582 doi
其它 期刊:Thin Solid Films
作者:Se Jun Park; Dohyung Kim; Song Yi Baek; Changsoo Lee; Jaehyun Kim; et al
出版日期:2024-12-01
求助人
俊逸湘 在 2026-08-12 16:51:45 发布自江苏,悬赏 10 积分
下载 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。
该求助已完结,感谢关注
如需该文献,请重新发布求助,前往发布
关注科研痛点,打通你的七经六脉
请遵守相关知识产权规定,勿将文件分享给他人,仅可用于个人研究学习
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
h7nho完成签到,获得积分10
1秒前
SciGPT应助冷冷采纳,获得10
2秒前
网友发布了新的文献求助10
2秒前
活力书包发布了新的文献求助10
3秒前
禹宛白发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
ttttttttt完成签到 ,获得积分10
4秒前
思源应助54不得了采纳,获得10
5秒前
5秒前
Xhy发布了新的文献求助10
5秒前
健忘谷秋发布了新的文献求助10
6秒前
6秒前
初雪完成签到,获得积分0
7秒前
8秒前
小马甲应助凝雁采纳,获得10
9秒前
9秒前
lulu发布了新的文献求助10
10秒前
大个应助7777采纳,获得20
10秒前
13秒前
李审绥完成签到 ,获得积分10
14秒前
文静的初曼完成签到,获得积分10
14秒前
15秒前
微笑的傲易完成签到,获得积分10
16秒前
17秒前
19秒前
21秒前
健忘谷秋完成签到,获得积分10
21秒前
eee25发布了新的文献求助10
21秒前
kokle完成签到,获得积分10
22秒前
可靠元枫发布了新的文献求助10
23秒前
dfggg发布了新的文献求助30
23秒前
23秒前
孤蚀月发布了新的文献求助10
24秒前
Zhengyn完成签到,获得积分20
26秒前
西红柿发布了新的文献求助10
26秒前
27秒前
归苗完成签到,获得积分10
27秒前
凝雁发布了新的文献求助10
28秒前
安雯发布了新的文献求助10
28秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
APA handbook of comparative psychology: Basic concepts, methods, neural substrate, and behavior 1000
Health Psychology 1000
全员动态考核,锚定高质量发展:读懂同济大学教师人事改革新政的深层价值 900
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510
The fast track to determining transfer functions of linear circuits: The student guide 500
Römisch-Germanische Forschungen 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7596109
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9172623
关于积分的说明 19636431
捐赠科研通 7173221
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3267975
关于科研通互助平台的介绍 2432724
邀请新用户注册赠送积分活动 2261135