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标题
Evaluation of vacancies in positive-tone non-chemically and chemically amplified EUV / EB resists: relationship between free-volume and LER
网址
https://www.spiedigitallibrary.org/redirect/proceedings/proc...
DOI
10.1117/12.2046659 doi
其它 期刊：Advanced Lithography
作者：A. Oshima; Toru Hinata; Hirotaka Nakamura; T. Oka; N. Oshima; et al
出版日期：2014-03-27
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uncleroot 在 2026-07-29 15:31:19 发布自安徽，悬赏 20 积分
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