Molecular dynamics simulations of the sputtering of SiC and Si3N4

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标题	Molecular dynamics simulations of the sputtering of SiC and Si3N4
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S025789720...
DOI	10.1016/j.surfcoat.2009.09.043 doi
其它	期刊：Surface & Coatings Technology 作者：A.-P. Prskalo; S. Schmauder; C. Ziebert; J. Ye; S. Ulrich 出版日期：2010-03-15
求助人	Atlantis 在 2026-09-15 15:58:22 发布自上海，悬赏 10 积分
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