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标题
Dry etch selectivity of a-C:H hardmasks for sub-65nm patterning applications
网址
https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/27/4/1809/15910152/...
DOI
10.1116/1.3151836 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
作者：D. Padhi; B. H. Kim; D. Witty
出版日期：2009-07-18
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自然的翠丝 在 2026-08-30 20:25:23 发布自北京，悬赏 10 积分
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