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标题
Electrolyte Composition for Cu Electrochemical Mechanical Planarization
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DOI
10.1149/1.2980439 doi
其它 期刊:Journal of The Electrochemical Society
作者:Abhinav Tripathi; Craig Burkhard; Ian Ivar Suni; Yuzhuo Li; Francois Doniat; et al
出版日期:2008-01-01
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