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Advancing atomic layer deposition through artificial intelligence: Generative modeling and predictive analytics for TiO2 growth rate prediction from TDMAT/O3
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S025789722...
DOI
10.1016/j.surfcoat.2026.133341 doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：Remya Ampadi Ramachandran; Pouyan Navabi; Majid Jaberi-Douraki; Urmila Diwekar; Cortino Sukotjo; Christos G. Takoudis
出版日期：2026-03-04
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沉静的梦秋 在 2026-05-05 01:22:51 发布自福建，悬赏 10 积分
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