Accurate phase measurement in phase-shift masks with a differential heterodyne interferometer - 科研通

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标题	Accurate phase measurement in phase-shift masks with a differential heterodyne interferometer
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx2/1120/8083/00352007.pdf?a...
DOI	10.1109/imtc.1994.352007 doi
其它	期刊：Conference Proceedings. 10th Anniversary. IMTC/94. Advanced Technologies in I & M. 1994 IEEE Instrumentation and Measurement Technolgy Conference (Cat. No.94CH3424-9) 作者：H. Fujita; H. Miyashita; H. Nakamura; H. Sano 出版日期：2002-12-18
求助人	delight1009 在 2026-03-12 21:34:27 发布自新西兰，悬赏 10 积分
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