Lateral Straggling of Ion Implantation Distributions in 4H-SiC Investigated by SIMS - 科研通

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标题	Lateral Straggling of Ion Implantation Distributions in 4H-SiC Investigated by SIMS
网址	https://www.scientific.net/MSF.963.437.pdf
DOI	10.4028/www.scientific.net/msf.963.437 doi
其它	期刊：Materials Science Forum 作者：Johanna Müting; Viktor Bobal; Alexander Azarov; Bengt Gunnar Svensson; Ulrike Grossner 出版日期：2019-07-19
求助人	ss 在 2026-05-15 13:42:25 发布自湖南，悬赏 30 积分
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