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 Anti-vibration coherence scanning interferometry for on-machine surface metrology 相关领域
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期刊：Optics and Lasers in Engineering 作者：Renjie Wen; Sotero Ordoñes; Jiayu Liu; J. M. Coupland; MingJun Ren; et al 出版日期：2026-04-23 |
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