Development of multi-step processing in silicon-on-insulator for optical waveguide applications

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标题	Development of multi-step processing in silicon-on-insulator for optical waveguide applications
网址	https://doi.org/10.1088/1464-4258/8/7/s22
DOI	10.1088/1464-4258/8/7/s22 doi
其它	期刊：Journal of Optics A: Pure and Applied Optics 作者：K Solehmainen; T Aalto; J Dekker; M Kapulainen; M Harjanne; P Heimala 出版日期：2006-06-08
求助人	lina 在 2026-04-22 20:58:55 发布自北京，悬赏 10 积分
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