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标题
Ultra-Thin Cu Nano-Twinned Films Sputtered On Si Wafers for Low Temperature Hybrid Bonding Of Advanced 3D-IC Packages
相关领域
材料科学 薄脆饼 纳米- 溅射 光电子学 薄膜 晶片键合 纳米技术 冶金 复合材料
网址
DOI
10.11159/ijmmme.2024.001 doi
其它 期刊:International Journal of Mining Materials and Metallurgical Engineering
作者:Zi-Hong Yang; Yen‐Ting Chen; Yin-Hsuan Chen; Tung‐Han Chuang
出版日期:2024-01-01
求助人
好好好 在 2026-01-22 09:42:50 发布,悬赏 10 积分
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