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标题
Selective Deposition of Multiple Sensing Materials on Si Nanobelt Devices through Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition and Device-Localized Joule Heating
等离子体增强化学气相沉积和器件局部焦耳加热在硅纳米带器件上选择性沉积多种传感材料
相关领域
材料科学 沉积（地质） 焦耳加热 化学气相沉积 等离子体 等离子体增强化学气相沉积 纳米技术 等离子体处理 原子层沉积 光电子学 化学工程 薄膜 复合材料 沉积物 工程类 物理 古生物学 生物 量子力学
网址
https://doi.org/10.1021/acsami.7b13896
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1021/acsami.7b13896 doi
其它 期刊：ACS Applied Materials & Interfaces
作者：Ru-Zheng Lin; Kuang-Yang Cheng; Fu‐Ming Pan; Jeng-Tzong Sheu
出版日期：2017-11-07
求助人
cobo 在 2025-12-15 16:22:37 发布自湖北，悬赏 10 积分
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