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 Fundamental characterization of the effect of nitride sidewall spacer process on boron dose loss in ultra-shallow junction formation 氮化物侧壁间隔工艺对超浅结形成中硼剂量损失影响的基本表征
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期刊：Materials Science and Engineering B 作者：Puneet Kohli; S. Chakravarthi; Amitabh Jain; H. Bu; M. Mehrotra; et al 出版日期：2004-09-14 |
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