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New Failure Analysis of Tungsten Plug Corrosion in Via Process |
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期刊:13th International Symposium on the Physical and Failure Analysis of Integrated Circuits 作者:Dong-sun Kim; Won-joon Ho; Jae-yeong Kim; Eui-yong Shin; Jin-ha Kim; Hi-deok Lee 出版日期:2006 |
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(2025-6-4)