Plasma atomic layer etching using conventional plasma equipment

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标题	Plasma atomic layer etching using conventional plasma equipment 相关领域钝化蚀刻（微加工）微电子等离子体图层（电子）感应耦合等离子体材料科学等离子体刻蚀制作等离子体处理反应离子刻蚀光电子学纳米技术病理物理医学量子力学替代医学
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-abstract/27/1/37/243859...
DOI	10.1116/1.3021361 doi
其它	Ankur Agarwal; Mark J. Kushner
求助人	小昭在 2026-01-06 16:37:40 发布自天津，悬赏 10 积分
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