| 标题 |
 专利、报告等 Process–Structure Correlation of AlN Films Sputtered in Confocal Target Geometry for Bulk Acoustic Wave Resonators 相关领域
谐振器
材料科学
基质（水族馆）
压电
共振（粒子物理）
声学
表面光洁度
方向（向量空间）
声波
光学
氮化物
光电子学
声表面波
表面粗糙度
旋转（数学）
反射系数
衍射
谐振器耦合系数
声共振
沉积（地质）
能量（信号处理）
频带
悬臂梁
动能
质量（理念）
反射（计算机编程）
薄膜
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| DOI |
10.2139/ssrn.6409713
doi
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| 其它 |
期刊： 作者：Anshul Jain; Subhranshu Shekhar Sahu; Vinay Kulkarni; Pradeep Dixit; Apurba Laha 出版日期：2026-03-14 |
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