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 Wafer Bin Map Recognition With Autoencoder-Based Data Augmentation in Semiconductor Assembly Process 半导体组装过程中基于自动编码器数据扩充的晶圆仓图识别
相关领域
计算机科学
人工智能
模式识别（心理学）
卷积神经网络
自编码
雅卡索引
数据挖掘
数据预处理
预处理器
深度学习
人工神经网络
机器学习
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期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Po-Cheng Shen; Chia‐Yen Lee 出版日期：2022-05-01 |
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