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标题
书籍(章节) Magnetron sputtering for development of nanostructured materials
磁控溅射技术在纳米结构材料研究中的应用
相关领域
材料科学 溅射沉积 高功率脉冲磁控溅射 溅射 腔磁控管 纳米技术 工程物理 薄膜 工程类
网址
DOI
10.1016/b978-0-12-820558-7.00002-9 doi
其它 期刊:Elsevier eBooks
作者:Ajit Behera; Shampa Aich; Theivasanthi Thirugnanasambandan
出版日期:2022-01-01
求助人
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