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 3D-DRAM Si/SiGe superlattices: inspection strategies and evaluation 3D-DRAM Si/SiGe超晶格：检测策略与评价
相关领域
德拉姆
超晶格
光电子学
材料科学
计算机科学
电子工程
工程物理
工程类
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期刊： 作者：Matteo Beggiato; Roger Loo; Wei Sun; Alain Moussa; Gerhard Bast; et al 出版日期：2025-05-06 |
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