| 标题 |
 Surface reaction mechanism of atomic layer deposition of titanium nitride using Tetrakis(dimethylamino)titanium and ammonia 四（二甲氨基）钛与氨原子层沉积氮化钛的表面反应机理
相关领域
锡
材料科学
钛
原子层沉积
氮化钛
氮化物
反应机理
二甲胺
化学气相沉积
化学工程
无机化学
催化作用
图层（电子）
纳米技术
化学
有机化学
冶金
工程类
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Yuanyuan Zhu; Zhongchao Zhou; Xu Zhang; Rui Xu; Yongjia Wang; et al 出版日期：2022-12-13 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
cdercder
上岸
东风
Nole
Criminology34
GingerF
渡人舟
学术文献互助
aajhajkahna
东方元语
OK
有人
嘻嘻哈哈
ming2026
那时花开
Essence
xing_xing
mmyhn
牧青
皖公网安备34019202002308
