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标题
An Ultra-High Low-Frequency SPL Piezoelectric MEMS Loudspeaker Based on Sputtered PZT
基于溅射PZT的超高频低频SPL压电MEMS扬声器
相关领域
扬声器 压电 微电子机械系统 材料科学 声学 PMUT公司 低频 光电子学 电气工程 计算机科学 复合材料 工程类 物理 电信
网址
DOI
10.1016/j.sna.2025.116551 doi
其它 期刊:Sensors and Actuators A Physical
作者:Qincheng Zheng; Ke Cao; Chenyu Bai; Xudong Ma; Ning Deng; et al
出版日期:2025-04-01
求助人
motingping 在 2025-05-21 16:10:23 发布自广东,悬赏 10 积分
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