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标题
Improving machinability and inhibiting surface damage of SiC wafer by ion implantation modification
网址
DOI
10.1016/j.cja.2024.103394 doi
其它 期刊:Chinese Journal of Aeronautics
作者:Qiang KANG; Xianguang KONG; Jiantao CHANG; Xudong FANG; Chen WU; et al
出版日期:2025-01-05
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