Polyhydroxystyrene Carbonate Esters for High Sensitivity Photoresists Having Autodecomposition Temperatures > 160°

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标题	Polyhydroxystyrene Carbonate Esters for High Sensitivity Photoresists Having Autodecomposition Temperatures > 160°
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/redirect/proceedings/proc...
DOI	10.1117/12.953048 doi
其它	期刊：Advanced Lithography 作者：W. Brunsvold; Willard E. Conley; Dale Murray Crockatt; N. Iwamoto 出版日期：1989-08-22
求助人	欢喜的千凡在 2026-10-11 16:56:38 发布自北京，悬赏 20 积分
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