Molecular Layer Deposition of a Hafnium-Based Hybrid Thin Film as an Electron Beam Resist

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标题	Molecular Layer Deposition of a Hafnium-Based Hybrid Thin Film as an Electron Beam Resist
网址	https://doi.org/10.1021/acsami.2c04092
DOI	10.1021/acsami.2c04092 doi
其它	期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Jingwei Shi; Ajay Ravi; Nathaniel E. Richey; Huaxin Gong; Stacey F. Bent 出版日期：2022-06-02
求助人	樊珩在 2026-09-30 00:02:50 发布自上海，悬赏 10 积分
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