Impact of post-deposition annealing on surface, bulk and interface properties of RF sputtered AlN films

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标题	Impact of post-deposition annealing on surface, bulk and interface properties of RF sputtered AlN films
网址	https://journals.sagepub.com/doi/pdf/10.1179/174328408X28772...
DOI	10.1179/174328408x287727 doi
其它	期刊：Materials Science and Technology 作者：J. P. Kar; S. Mukherjee; G. Bose; S. Tuli; J. M. Myoung 出版日期：2009-02-13
求助人	缥缈谷冬在 2026-10-08 14:59:27 发布自美国，悬赏 30 积分
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