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 Reactive Vapor-Phase Inhibitors for Area-Selective Depositions at Tunable Critical Dimensions |
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期刊：ACS Appl Mater Interfaces 作者：Ogunfowora LA, Singh I, Arellano N, Pattison TG, Magbitang T, Nguyen K, Ransom B, Lionti K, Nguyen S, Topura T, Delenia E, Sherwood M, Savoie BM, Wojtecki R 出版日期：2024-01-11 |
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