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标题
Counterbalance of Ti and OH concentrations in tuning the zero thermal expansion behaviour of TiO2-SiO2 glass for use as mask substrate in EUV lithography
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.ceramint.2026.09.135
DOI
10.1016/j.ceramint.2026.09.135 doi
其它 期刊：Ceramics International
作者：Il Jung Yoon; Hirokazu Masai; Chang-Gi Lee; Se-Ho Kim; Yohei Onodera; et al
出版日期：2026-09-01
求助人
俊逸三德 在 2026-10-22 17:12:56 发布自上海，悬赏 10 积分
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