New dynamic FIB-SEM fusion model for controllable high-precision nanofabrication with high-energy synchronous FIB-SEM beams

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标题	New dynamic FIB-SEM fusion model for controllable high-precision nanofabrication with high-energy synchronous FIB-SEM beams
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2025.114547
DOI	10.1016/j.vacuum.2025.114547 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Lirong Zhao; Yimin Cui; Hao Yin; Liyuheng Rui; Wenping Li 出版日期：2025
求助人	动听的康乃馨在 2026-05-06 02:49:04 发布自广东，悬赏 10 积分
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