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 Identifying and overcoming the interface originating c-axis instability in highly Sc enhanced AlN for piezoelectric micro-electromechanical systems 相关领域
压电
材料科学
压电响应力显微镜
基质（水族馆）
压电系数
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Simon Fichtner; Niklas Wolff; Gnanavel Vaidhyanathan Krishnamurthy; A. Petraru; Sascha Bohse; et al 出版日期：2017-07-18 |
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