An IR-reflectivity and X-ray diffraction study of high energy He-ion implantation-induced damage in 4H–SiC

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标题	An IR-reflectivity and X-ray diffraction study of high energy He-ion implantation-induced damage in 4H–SiC
网址	https://doi.org/10.1016/S0168-583X(01)00921-1
DOI	10.1016/S0168-583X(01)00921-1 doi
其它	期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 作者：A. Declémy; E. Oliviero; M.F. Beaufort; J.F. Barbot; M.L. David; et al 出版日期：2002
求助人	Ye 在 2026-04-09 22:52:35 发布自广东，悬赏 10 积分
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