Directed self assembly for advanced nodes: material and process innovations for P24LS

已完结

文献求助详情

标题	Directed self assembly for advanced nodes: material and process innovations for P24LS
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3091537
DOI	10.1117/12.3091537 doi
其它	期刊：Novel Patterning Technologies 2026 作者：Rémi Vallat; Lander Verstraete; Minseong Jeong; Laurent Souriau; Hyo Seon Suh 出版日期：2026-04-08
求助人	踏实的半雪在 2026-09-15 22:35:34 发布自中国，悬赏 20 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通的所有服务均免费，并承诺对个人用户永久免费！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 潇洒的保温杯完成签到，获得积分10

3秒前; 可靠纸飞机完成签到，获得积分10

6秒前; Youcandoit完成签到，获得积分10

18秒前; 谦让朝雪完成签到，获得积分10

19秒前; 冷艳的紫完成签到，获得积分10

33秒前; ding的应助被YuanJX采纳，获得10

40秒前; ding上传了应助文件

48秒前; YuanJX发布了新的文献求助10

55秒前; 香蕉觅云的应助被科研通管家采纳，获得30

58秒前; 思源的应助被科研通管家采纳，获得10

58秒前; 淡然的半烟完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通AI6.2上传了应助文件

1分钟前; 顾矜上传了应助文件

1分钟前; 贪玩月亮发布了新的文献求助10

1分钟前; 酷炫的爆米花发布了新的文献求助10

1分钟前; 贪玩月亮完成签到，获得积分10

1分钟前; 优雅的傲柏完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通AI6.2的应助被读书的时候采纳，获得30

1分钟前; 酷炫的爆米花完成签到，获得积分10

1分钟前; 虚心的手套完成签到，获得积分10

1分钟前; 只想发SCI完成签到，获得积分10

2分钟前; 共享精神的应助被读书的时候采纳，获得30

2分钟前; Owen上传了应助文件

2分钟前; 看文献的韩章浅发布了新的文献求助10

2分钟前; 科研通AI6.2的应助被读书的时候采纳，获得10

2分钟前; 欣慰怀梦完成签到，获得积分10

2分钟前; 拼搏的水桃完成签到，获得积分10

2分钟前; 看文献的韩章浅完成签到，获得积分10

2分钟前; 随风沙ZYX的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; 科研通AI6.4的应助被读书的时候采纳，获得10

3分钟前; 欣慰的代桃完成签到，获得积分10

3分钟前; 小番茄完成签到，获得积分10

3分钟前; 称心的随阴完成签到，获得积分10

3分钟前; 明亮的依珊完成签到，获得积分10

4分钟前; 漂亮的宛筠完成签到，获得积分10

4分钟前; 随风沙ZYX的应助被科研通管家采纳，获得10

4分钟前; 随风沙ZYX的应助被科研通管家采纳，获得10

4分钟前; 冷傲代芙完成签到，获得积分10

5分钟前; juejue333完成签到，获得积分10

5分钟前; 王贤平完成签到，获得积分10

5分钟前